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針對(duì)軟膜的外緣膠合封裝結(jié)構(gòu)是采用的一種獨(dú)特的結(jié)構(gòu),通常使用在帶通濾光片或截止濾光片上。濾光膜層(如窄帶介電帶通膜層、ITF膜層、寬帶介電帶通膜層及反光鏡面膜層等)一般分別鍍在幾片獨(dú)立的基片平板上。根據(jù)濾光片最終的尺寸及形狀,我們對(duì)平板上的膜層及基板進(jìn)行平面的磨削加工,在平板上保留符合通光孔徑標(biāo)準(zhǔn)的膜層,并且將多余的膜層磨削去除,同時(shí)也磨去一定厚度在通光孔徑周圍的基板材料。將兩塊或多塊基板材料用環(huán)氧樹脂膠合在一起。這樣在軟膜的周圍可以形成玻璃—環(huán)氧樹脂—玻璃的密封結(jié)構(gòu),可以最大限度的保護(hù)潮濕氣體對(duì)鍍膜層的損害。經(jīng)過膠合工藝后,對(duì)外緣進(jìn)行加工及可以得到需要尺寸的濾光片成品。
這種結(jié)構(gòu)通常用在需要信噪比很高,而且要求通光孔徑比很高(通光區(qū)域外的尺寸太小,不能用外緣膠合封裝結(jié)構(gòu))的帶通濾光片上。濾光膜層(如窄帶介電帶通膜層、ITF膜層、寬帶介電帶通膜層及反光鏡面膜層等)一般分別鍍在幾片獨(dú)立的基片平板上,并且直接膠合在一起。設(shè)計(jì)工程師通常會(huì)選用化學(xué)穩(wěn)定性及耐潮性能較好的鍍膜膜料,以防止以后潮濕氣體對(duì)膜層的損害。這種工藝也可以根據(jù)客戶的要求,調(diào)整或附加抗?jié)癖Wo(hù)層以滿足客戶對(duì)使用壽命的需求。
一種制作濾光片紅外材料透鏡的方法,可增加一半導(dǎo)體晶片上的一濾光片附著力并避免光線的跨越干擾現(xiàn)象;該方法是先于該半導(dǎo)體晶片上形成一介電層以覆蓋設(shè)于該半導(dǎo)體晶片上的MOS晶體管感測器;然后于該介電層上形成復(fù)數(shù)個(gè)金屬層約略設(shè)置于各MOS晶體管感測器兩側(cè)上方;接著形成一保護(hù)層,并于該保護(hù)層上形成一第一濾光片,其兩側(cè)與下方的兩該金屬層約略對(duì)齊;之后依序于該保護(hù)層上形成一第二濾光片以及一第三濾光片且分別部分相疊于該第一濾光片的一側(cè);其中各濾光片相疊的部分可以提高各該濾光片的附著力,同時(shí)形成一光線阻障層,以避免光線的跨越干擾紅外濾光片的作用就是透紅外光截止可見光。這樣即使在光線不好或沒有的情況下,相機(jī)仍然可以拍攝不過是黑白效果了。