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企業(yè)名稱：揚州市華盛光學儀器廠
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彩色濾光片旨在降低直拉硅單晶氧含量，提高硅紅外濾光片透過率的硅片熱處理工藝。其特征是將硅片在400-1000℃溫度間的四段溫區(qū)逐步升溫并保溫適當時間并在硅片冷卻至850℃以下時取出。
處理后的直拉硅單晶片在9um處的透過率接近或達到區(qū)熔硅單晶的水平，用熱處理后的廉價直拉硅單晶片制造的紅外濾光片，可滿足紅外儀器設備所需紅外濾光片的要求，大大降低了濾光片的成本。
硅紅外濾光片的熱處理工藝，包括硅片的切、磨、拋光和腐蝕清洗及熱處理用石英爐管的HCl處理。
它的特征在于：
1.在爐溫低于400℃時，裝入硅片。
2.將爐溫升至400-550℃，保溫10-30小時;然后升溫至700-800℃，保溫10-30小時，再升溫至800-900℃，保溫2-5小時，最后升溫至900-1000℃，保溫2-5小時。
3.在爐溫降至850℃以下時，取出硅片。
硅單晶紅外濾光片具有良好的紅外光譜特性以及物理性能，目前已經(jīng)廣泛的在紅外傳感器濾光片主要采用單晶硅為基片，通過在基片上交替鍍制不同折射率和厚度的材料薄膜，使基材具有長波通、短波通，帶通，增透，反射等光學功能。
我司生產(chǎn)的單晶硅紅外濾光片主要應用在激光、成像、探測、測溫、傳感、航空航天等領(lǐng)域的傳感器上面，所以也叫紅外傳感器專用濾光片。
