石英玻璃的深加工是指將石英玻璃原料(管狀、棒狀、片狀、塊狀)加工成用戶需要的石英器件，在加方法上分為冷加工和熱加工兩種形式。冷加工主要包括切割、研磨、拋光三種。

1、切割：主要是采用金剛砂鋸片、金剛石鋸片切割石英管或石英片。多刀切割機、線切割機，主要用于石英碇、石英塊料切割。激光切割機、內(nèi)圓切割機，主要用于切割導(dǎo)行板材。

2、研磨：平面磨盤、單軸、雙軸拋光機，分粗磨：Hcp在10~20μm光潔度▽2.平面銑床、多功能銑床，細磨：Hcp在6.3μm光潔度▽6.鉆床、車床、內(nèi)園、外園磨床，粗磨：Hcp在6μm以下▽7.

3、拋光：多軸拋光機：Hcp＜λ，即0.5μm以下。①粗磨的目的是成型，使加工件具有一定的幾何形狀。用散粒磨料或結(jié)合磨料加工石英玻璃表面后，其表面不平度Hcp10~20μm，▽2.粗磨有的用散粒磨料在磨盤上手工磨，或用結(jié)合磨料機械磨。散粒磨料有綠SiC色（金剛砂）和電熔白剛玉等幾種；用60#~12#電熔剛玉砂可達到▽2.結(jié)合磨料有SiC樹脂，金剛石磨輪。粗磨較好在平面磨床或銑床上用結(jié)合磨料進行。②、細磨：目的是改善表面的粗糙度，使被加工件獲得接近完工的幾何形狀，為拋光打下基礎(chǔ)，用散料磨料研磨表面，不平度Hcp＜6.3μm；尺寸精度0.5~1.0mm。細磨也有兩種：手工散料＋平面磨盤，一般選用較小磨盤，線速度12m/s以上，加工件在磨盤上式橢圓形運動，正常自轉(zhuǎn)180?。機械磨，上盤，加工件固定以圓形鑄鐵平面上。

單軸拋光機，雙軸泡個腳（H015型）軸拋光機。③、精磨：目的是進一步改善玻璃表面智質(zhì)量，盡量減少拋光必須完全除去的破壞層厚度，并對幾何尺寸進一步修正。Hcp＜6μm、▽7左右。精磨的主要指標是光潔度，檢查方法是在反射光下用肉眼觀察。精磨磨料為120~14μm。應(yīng)盡量避免擦傷。④、拋光Hcp＜λ；即＜0.5μm。拋光的目的是是玻璃光石的微觀起伏小于光波波長。精磨石的玻璃即可進行拋光；使玻璃對光線有良好的透過能力。用以瀝青＋松香氣體的拋光膠；拋光車間要求恒溫。有高速和低速兩種拋光設(shè)備。