在探測(cè)器制造加工工藝中，很多都涉及清洗技術(shù)，如芯片制作期間的基片清洗，外延生長(zhǎng)片的清洗，鍍膜加工前基片的清洗，以及濾光片等光學(xué)元件加工的清洗等。

隨著科技的發(fā)展，半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對(duì)清潔度的要求越來(lái)越高。也不斷有復(fù)雜的新洗凈系統(tǒng)和設(shè)備投入使用。在光學(xué)儀器、精密機(jī)械以及電子機(jī)械領(lǐng)域也越來(lái)越多地需要精密工業(yè)清洗。無(wú)論是半導(dǎo)體薄膜的生長(zhǎng)還是基于半導(dǎo)體薄膜的器件制備，襯底的清洗和處理是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)。

激光鏡片鍍膜前經(jīng)過(guò)一系列的清洗過(guò)程之后，在基片放入真空室的過(guò)程中以及在真空室抽取真空的過(guò)程中，裝入鍍膜設(shè)備真空室以及進(jìn)行蒸鍍前，基片均有可能被二次污染，從而影響濾光片蒸鍍效果和薄膜特性，通常采用離子束清洗技術(shù)，對(duì)基片進(jìn)行的最后一道處理，以消除二次污染，保證基片在鍍膜前的真正清潔。離子束清洗技術(shù)的清潔機(jī)理是: 吸附或黏附在基片上的污物在高能離子束的轟擊下脫離基片; 或通過(guò)高熱能的氧離子氧化污物分子，使它易于被離子碰撞而脫離基片。

保養(yǎng)激光切割機(jī)的聚焦激光鏡片要注意以下三點(diǎn)：

1.   聚焦鏡片材料為ZnSe（鋅化砷），比較脆，怕摔；在拆裝時(shí)要注意：不能過(guò)于用力，不能和硬物發(fā)生碰撞。表面有增透膜，怕污染、怕濕、怕油性、怕刮擦；故要求在工作中提供干燥、去油的空氣，千萬(wàn)不要直接用手處理激光切割機(jī)聚焦鏡的鏡片，因?yàn)槠つw油脂會(huì)對(duì)鏡片表面產(chǎn)生永久性的傷害。相反的，您可以帶手套及其專用套具進(jìn)行操作，對(duì)更小的鏡片，使用光學(xué)鑷子或真空鑷子會(huì)更方便。不管用什么方法來(lái)夾激光切割機(jī)聚焦鏡，只能沿非光學(xué)表面夾持，比如鏡匾邊的磨砂邊緣。

2.一般情況下，在使用前和清潔的前后都需要檢查激光切割機(jī)聚焦鏡的情況。因?yàn)榇蠖鄶?shù)污染物和表面缺陷的尺寸比較小，在檢查鏡片時(shí)我們經(jīng)常需要用到放大設(shè)備。除了放大設(shè)備，有時(shí)我們還需要用一束比較亮的光來(lái)照射光學(xué)表面，增強(qiáng)表面污染物和缺陷的鏡面反射強(qiáng)度，這樣可以更容易地發(fā)現(xiàn)污染物和缺陷。

3. 當(dāng)清潔一個(gè)激光切割機(jī)聚焦鏡時(shí)，經(jīng)常使用干凈的擦拭紙和光學(xué)級(jí)別的溶劑，以防止被其他污染物破壞。擦拭紙必須用合適的溶劑潤(rùn)濕，千萬(wàn)不能干燥使用。處于對(duì)柔軟度的考慮，可用的擦拭紙為純棉的Webril擦拭紙或者棉球，鏡頭紙，和棉簽等涂敷器。